Quins són els components d'un sistema de buit?

Un sistema de buit és un equip industrial complet que consta d'una bomba de buit, un sistema de control del programa PLC, un dipòsit d'emmagatzematge de gas, una canonada de buit i altres components. S'utilitza àmpliament en camps com ara semiconductors electrònics, mòduls de retroil·luminació optoelectrònics, mecanitzat, envasos d'aliments i laboratoris mèdics per mantenir un entorn de buit estable per donar suport als processos de fabricació de precisió.

 

El sistema adopta un disseny modular, que integra control de velocitat de bombeig, filtració d'entrada, visualització de dades d'operació i una interfície de control remot. Durant la-instal·lació al lloc, només cal una connexió d'alimentació i canonades per al funcionament. La gestió totalment automatitzada s'aconsegueix mitjançant el sistema de control de PLC i una interfície-home amb pantalla tàctil. Pot canviar automàticament entre els grups de bombes principals i de seguretat (com les bombes de cargol i les bombes Roots) per garantir un nivell de buit estable. Està equipat amb apagada automàtica en cas de fallada de corrent, sobrecàrrega del motor i protecció contra curt-circuits, i admet un sistema de recuperació d'hidrogen per millorar la seguretat i l'eficiència energètica.

 

A la indústria dels semiconductors, els sistemes de buit proporcionen un recorregut del feix-segellat al buit per a la litografia EUV, garantint una transmissió estable de la font de llum ultraviolada extrema. També s'utilitzen en processos crítics com ara el recobriment PECVD, el gravat en sec al buit i la implantació d'ions, que requereixen requisits de bombeig que van des de condicions de funcionament netes fins a dures i estàndards de partícules ultra-baix. A més, el sistema també pot proporcionar solucions de buit d'extrem a --extrem per a la fabricació de cèl·lules fotovoltaiques, conservació d'aliments, equipament mèdic i altres aplicacions.